奇石乐压电传感器,助力半导体制造提升效率与良率
▲压电传感器以石英晶体等压电材料为基础,这类材料在受到机械载荷时会产生电荷。
不同类型的半导体产品有着迥异的研发需求:例如智能手机所用的AI芯片需兼顾极致小巧与强大性能,而汽车功率半导体则需要在极端温度下能长期稳定运行。但无论用途如何,受微型化趋势、新材料应用及工艺迭代的影响,半导体的生产难度都在日益增加。
机械应力是影响良率的重要因素之一。在半导体制造的研磨、切割、化学机械抛光(CMP)、键合、搬运及测试等环节中,机械应力可能导致晶圆或芯片产生微裂纹等微观缺陷。事实证明,搭载压电传感器的动态力测量技术,是控制机械应力的核心手段。通过力的测量,半导体制造商能实现工艺优化,最大限度降低干扰因素的影响,在不牺牲芯片性能与功率的前提下提升生产效率 —— 例如键合工艺就需要对力、温度和位移进行精准控制。
▲无论半导体制造过程中施加的力值多么微小,奇石乐的压电测量技术都能对其进行高分辨率监测与控制。在奇石乐,您可以一站式获取完整的压电测量链解决方案。
借助压电传感器优化半导体制造奇石乐的动态力测量解决方案依托压电传感器技术,可提供精确的测量数据。当机械力作用于压电材料时,材料会产生与所受力成正比的电荷,通过测量该电荷即可实现力的精准检测,测量范围覆盖0.1牛至100千牛。
▲芯片正朝着体积更小、同时效率更高、性能更强的方向发展,以满足不断提升的应用需求。因此,对制造工艺可靠性的要求也日益提高。而动态力测量技术是应对这些挑战的关键。
压电传感器在半导体制造中的应用优势:
▲ 精准可靠:测量结果精确、过程可重复
▲ 高灵敏度:可检测微小力值变化
▲ 坚固耐用:可全天候不间断,稳定运行
▲ 数字化兼容:适配现代以太网网络
▲ 合规标准:可在洁净室、真空、磁场等环境中工作,且符合行业标准
压电传感器能够满足半导体行业的严苛要求,为生产过程提供可靠的测量解决方案。而优化半导体生产工艺的关键,在于从项目初期就与动态力测量领域的专家合作。如果您对压电测量技术尚不熟悉,我们很乐意协助您进行测量链的选型和集成,并提供专业的配套服务。
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